解決方案
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半導(dǎo)體
在現(xiàn)代化的晶圓制造車間，數(shù)以千計(jì)的冷卻以及溫度控制設(shè)備7*24小時(shí)馬不停蹄地運(yùn)轉(zhuǎn)著，為高精度的半導(dǎo)體制造設(shè)備提供精密而穩(wěn)定的工作溫度，以確保停產(chǎn)時(shí)間變少。iYTRON 公司為以下半導(dǎo)體制造設(shè)備提供訂制化的精密冷卻及溫控方案：
※ 蝕刻設(shè)備（etching）※ 化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD,PECVD）
※ 離子注入機(jī)（ion implanting）
※ 自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備（ATE）
iYTRON 所設(shè)計(jì)生產(chǎn)的熱控設(shè)備在寬泛的運(yùn)行溫度區(qū)間（-80℃ - 150℃）仍能提供異常準(zhǔn)確的溫度控制（±0.1℃），同時(shí)所有的設(shè)備的溫度控制模塊均可基于SEMI S2或者F47標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)生產(chǎn)。
